1、機外殼采用不銹鋼SUS304材質制造，內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。

2、鋼化箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

3、微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。

4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。

5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

6、整個系統采用材料制造，無發塵材料，適用100級光刻間凈化環境。